တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ် (TiN) မြင့်မားသောအပူလျှပ်ကာ HD ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များအဆင့်မြင့်အမျိုးအစားတစ်ခုဖြစ်သည်။ပြတင်းပေါက်အရောင်၎င်းတို့၏ထူးခြားသောအပူဂုဏ်သတ္တိများနှင့်ကြာရှည်ခံမှုကြောင့်လူကြိုက်များလာသည်။ ကမ္ဘာ့အပူချိန် မြင့်တက်လာခြင်းနှင့် စွမ်းအင်လိုအပ်ချက်များ တိုးပွားလာသည်နှင့်အမျှ စွမ်းအင်သက်သာသော အဆောက်အအုံဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များအတွက် လိုအပ်မှုမှာ ပို၍ အရေးကြီးလာပါသည်။ TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များသည် ပြတင်းပေါက်များမှတစ်ဆင့် အပူလွှဲပြောင်းခြင်းကို လျှော့ချရန် ရေရှည်တည်တံ့ပြီး ထိရောက်သောနည်းလမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး စွမ်းအင်သုံးစွဲမှုကို လျှော့ချပေးကာ အိမ်တွင်း သက်တောင့်သက်သာရှိမှုကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။ ဤဆောင်းပါးသည် ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်များ၊ အဓိကစွမ်းဆောင်ရည်တိုင်းတာမှုများ၊ စိန်ခေါ်မှုများ၊ အရည်အသွေးအာမခံချက်အလေ့အကျင့်များနှင့် TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များ၏ အနာဂတ်လမ်းကြောင်းများကို သရုပ်ဖော်ထားပြီး ၎င်းတို့သည် ဝင်းဒိုးဖလင်ထောက်ပံ့ရေးလုပ်ငန်းတွင် အဘယ်ကြောင့်ထိပ်တန်းရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်ကို အလင်းပြပါသည်။
တိုက်တေနီယမ် နိုက်ထရိတ် ပြတင်းပေါက် ရုပ်ရှင်ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်၏ ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်
အဓိက စွမ်းဆောင်ရည် အညွှန်းကိန်းများ- အပူခံအတားအဆီး၊ ကြာရှည်ခံမှုနှင့် ပွင့်လင်းမြင်သာမှု
TiN Window ရုပ်ရှင်ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အဖြစ်များသောစိန်ခေါ်မှုများ
TiN Window ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးအာမခံအလေ့အကျင့်များ
TiN Window ရုပ်ရှင်များ၏ အနာဂတ်- သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး လမ်းညွှန်ချက်များ
တိုက်တေနီယမ် နိုက်ထရိတ် ပြတင်းပေါက် ရုပ်ရှင်ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်၏ ခြုံငုံသုံးသပ်ချက်
တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ် (TiN) မြင့်မားသော လျှပ်ကာ HD ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များကို ဖလင်အလွှာများ၏ တာရှည်ခံမှုနှင့် အပူအထီးကျန်ဂုဏ်သတ္တိများကို သေချာစေသည့် အဆင့်မြင့် ပါးလွှာသော ဖလင်စုဆောင်းခြင်းနည်းပညာများကို အသုံးပြု၍ ထုတ်လုပ်ပါသည်။ တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ် ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များကို ပုံမှန်အားဖြင့် ပစ်မှတ်ကို ထိမှန်ရန် စွမ်းအင်မြင့် အမှုန်အမွှားများကို အသုံးပြုကာ sputtering ဖြင့် ထုတ်လုပ်ပါသည်။ ဤနည်းအားဖြင့်၊ တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ်ဖလင်ကို ဖောက်ထွင်းမြင်ရသော ဖလင် သို့မဟုတ် ဖန်သားမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် တစ်ပုံစံတည်း အသုံးချသည်။ TiN ဖလင်သည် အလွန်မာကျောပြီး သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ပြတင်းပေါက်ဖလင်၏ အပူအထီးကျန်မှုကို သိသာထင်ရှားစွာ မြှင့်တင်ပေးကာ အလင်းပို့လွှတ်မှုကို ကောင်းမွန်စေသည်။
ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ အဓိကနည်းပညာအဆင့်များတွင် ရေဖျန်းခြင်းများ၊ ဖလင်အလွှာများကို ပွတ်တိုက်ခြင်းနှင့် ထုတ်လုပ်ပြီးနောက် မျက်နှာပြင် သန့်စင်ခြင်းတို့ ပါဝင်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်များသည် ရုပ်ရှင်၏ ကပ်ငြိမှု၊ တူညီမှုနှင့် အိုမင်းရင့်ရော်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန်အတွက် အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ အပူချိန်၊ ဖိအားနှင့် အပ်နှံချိန်ကို တိကျစွာထိန်းချုပ်နိုင်မှုသည် အပူအထီးကျန်ခြင်းနှင့် တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ်ဖလင်၏ အလင်းပို့လွှတ်မှုကြား အကောင်းဆုံးချိန်ခွင်လျှာကို သေချာစေသည်။
အဓိက စွမ်းဆောင်ရည် အညွှန်းကိန်းများ- အပူခံအတားအဆီး၊ ကြာရှည်ခံမှုနှင့် ပွင့်လင်းမြင်သာမှု
အပူအထီးကျန်ခြင်း။
TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များ၏ အဓိကအကျိုးကျေးဇူးများထဲမှတစ်ခုမှာ ၎င်းတို့၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူအထီးကျန်ခြင်းဖြစ်ပါသည်။ အနီအောက်ရောင်ခြည် ဖြာထွက်မှုကို ထိရောက်စွာ ပိတ်ဆို့ခြင်းဖြင့် TiN ရုပ်ရှင်များသည် အဆောက်အဦများနှင့် မော်တော်ယာဉ်များအတွင်း အပူများတည်ဆောက်ခြင်းကို လျှော့ချနိုင်ကာ လေအေးပေးစက် စွမ်းအင်သုံးစွဲမှုကို လျှော့ချပေးနိုင်ပါသည်။TiN ရုပ်ရှင်များသည် ပြတင်းပေါက်များ၏ စွမ်းအင်ထိရောက်မှုအချိုးကို မြှင့်တင်ပေးကာ 50% သို့မဟုတ် ထို့ထက်ပိုသော အပူလွှဲပြောင်းမှုကို အကာအကွယ်ပေးနိုင်သည်။
ယာဉ်စည်းကမ်း
တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ်ရုပ်ရှင်များသည် အလွန်မာကျောပြီး ပွန်းပဲ့ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များသည် ရေရှည်အသုံးပြုနေစဉ်အတွင်း ခြစ်ရာများ သို့မဟုတ် အခြားပြင်ပပျက်စီးမှုများကို လျော့နည်းစေပါသည်။ ၎င်း၏ ချေးခံနိုင်ရည်သည် ကောင်းမွန်သောကြောင့် TiN ရုပ်ရှင်များသည် ကြမ်းတမ်းသော ပတ်ဝန်းကျင်အခြေအနေအောက်တွင်ပင် ၎င်းတို့၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အသွင်အပြင်ကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်စေပါသည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်၊ စိုထိုင်းဆနှင့် ပြင်းထန်သော ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်များရှိသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အသုံးပြုရန်အတွက် စံပြဖြစ်သည်။
ပွင့်လင်းမြင်သာမှု
၎င်း၏သတ္တုပုံစံရှိသော်လည်း၊ တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ်ဖလင်သည် ၎င်း၏ကြည်လင်ပြတ်သားမှုနှင့် အလှတရားများကို အထူးကြည်လင်ပြတ်သားစွာထိန်းသိမ်းထားပြီး TiN ရုပ်ရှင်သည် အခန်းတွင်းရှိ သဘာဝအလင်းရောင်ကို အနှောင့်အယှက်မပေးသည့် မြင့်မားသောမြင်နိုင်သောအလင်းထုတ်လွှင့်မှု (VLT) ကို ရရှိသည်။ TiN ရုပ်ရှင်များသည် အတွင်းခန်း ပရိဘောဂများနှင့် လူများကို ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည် ထိခိုက်မှု အနည်းဆုံးဖြစ်အောင် ကူညီပေးသည့် အလွန်ကောင်းမွန်သော ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်ကို တားဆီးပေးသည့် ဂုဏ်သတ္တိလည်း ရှိပါသည်။
TiN Window ရုပ်ရှင်ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အဖြစ်များသောစိန်ခေါ်မှုများ
TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များ ထုတ်လုပ်ရာတွင် ထုတ်လုပ်သူများ ကြုံတွေ့ရလေ့ရှိသော နည်းပညာဆိုင်ရာ စိန်ခေါ်မှုများစွာ ရှိပါသည်။
Substrate Adhesion ပြဿနာများ
TiN ရုပ်ရှင်များကို ချိတ်ဆက်ခြင်းသည် ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အရေးကြီးဆုံး နည်းပညာဆိုင်ရာ စိန်ခေါ်မှုများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဖလင်အလွှာနှင့် အလွှာကြားတွင် ကပ်ငြိမှု အားကောင်းခြင်းမရှိပါက၊ ၎င်းသည် ပြတင်းပေါက်ဖလင်၏ ထိရောက်မှုနှင့် တာရှည်ခံမှုကို ထိခိုက်စေနိုင်သည်။ ကပ်ငြိမှုကိုသေချာစေရန်အတွက် ထုတ်လုပ်သူသည် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း သင့်လျော်သော မျက်နှာပြင်ကုသမှုနည်းပညာများကို အသုံးပြုရန် လိုအပ်ပါသည်။
ရုပ်ရှင်ညီညွှတ်ရေးကိစ္စ
TiN ဖလင်၏ အထူနှင့် တူညီမှုသည် ပြတင်းပေါက်ဖလင်၏ အပူအတားအဆီးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် ပွင့်လင်းမြင်သာမှုကို တိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။ ထုတ်လုပ်ရေး လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဖလင်အထူသည် တူညီမှုမရှိပါက ပြတင်းပေါက်ဖလင်၏ မတည်မငြိမ် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်၊ သို့မဟုတ် ဒေသအလိုက် အပူရှိန်တည်ဆောက်မှု သို့မဟုတ် အလင်းပို့လွှတ်မှုကို လျှော့ချနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ ရုပ်ရှင်အလွှာ၏ တူညီမှုအား တိကျစွာထိန်းချုပ်ခြင်းသည် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏ အရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ထိန်းချုပ်ရေး
TiN ရုပ်ရှင်များ ထုတ်လုပ်မှုတွင် မြင့်မားသော တိကျမှုရှိသော စက်ကိရိယာများနှင့် ကုန်ကြမ်းများ ပါဝင်ပြီး ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ် ပိုမိုမြင့်မားစေသည်။ TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များသည် စျေးကွက်တွင် ပြိုင်ဆိုင်နိုင်စေရန်အတွက် ထုတ်လုပ်သူသည် ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချကာ ဖလင်အလွှာ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ ဤအဆင့်တွင်၊ sputtering နည်းလမ်းသည် အရည်အသွေးမြင့် TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များကို ထုတ်လုပ်နိုင်သော်လည်း ၎င်း၏ စက်ကိရိယာ ရင်းနှီးမြုပ်နှံမှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ် မြင့်မားသောကြောင့် ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် နှင့် monolithic ရုပ်ရှင်များ၏ ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချနည်းမှာ အရေးကြီးသော ပြဿနာတစ်ခုဖြစ်သည်။
TiN Window ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးအာမခံအလေ့အကျင့်များ
TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အရည်အသွေးကို သေချာစေရန်၊ ထုတ်လုပ်သူများသည် ပုံမှန်အားဖြင့် တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးအာမခံအလေ့အကျင့်များကို ဆက်တိုက်အသုံးပြုသည်-
ရုပ်ရှင်အထူစောင့်ကြည့်ရေး
ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ အလွှာမှအလွှာတစ်ထပ်သို့အထူသေချာစေရန်အဆင့်မြင့်နည်းပညာများကိုအသုံးပြု၍ ရုပ်ရှင်အလွှာများ၏အထူကိုအချိန်နှင့်တပြေးညီစောင့်ကြည့်သည်။ ဤနည်းပညာများတွင် Ellipsometry နှင့် X-ray fluorescence analysis တို့ ပါဝင်သည်။
အပူအထီးကျန်ခြင်းနှင့် အလင်းစစ်ဆေးခြင်း
TiN ပြတင်းပေါက်ဖလင်များကို အပူအထီးကျန်ခြင်း ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် အလင်းမြင်သာမှုများအတွက် ပြင်းထန်စွာ စမ်းသပ်ထားသည်။ ပြတင်းပေါက်ဖလင်အသုတ်တိုင်းသည် မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်စံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေရန် Visible Light Transmittance (VLT) နှင့် Solar Heat Gain Coefficient (SHGC) ကဲ့သို့သော တိုင်းတာမှုများကို အသုံးပြုပါသည်။
ကြာရှည်ခံမှုစမ်းသပ်မှု
ပြတင်းပေါက်ဖလင်များ၏ ရေရှည်ထိရောက်မှုကို အကဲဖြတ်ရန်အတွက် ထုတ်လုပ်သူများသည် ခြစ်ရာခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ကပ်တွယ်မှု၊ UV တည်ငြိမ်မှုနှင့် အခြားအရာများပါ၀င်သည့် ပြတင်းပေါက်ဖလင်များကို စမ်းသပ်မှုများ ပြုလုပ်သည်။ ဤစစ်ဆေးမှုများသည် မတူညီသောရာသီဥတုအခြေအနေများတွင် ရုပ်ရှင်၏ကြာရှည်ခံမှုကိုသေချာစေရန် ကူညီပေးပါသည်။
TiN Window ရုပ်ရှင်များ၏ အနာဂတ်- သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေး လမ်းညွှန်ချက်များ
နည်းပညာတိုးတက်လာသည်နှင့်အမျှ TiN မြင့်မားသော insulation HD ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်များ၏အနာဂတ်သည် အလားအလာအပြည့်ရှိသည်။ TiN မြင့်မားသော အပူခံကာ HD ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်၏ စျေးကွက်အလားအလာမှာ ကျယ်ပြန့်သည်။ ထုတ်လုပ်မှုနည်းပညာနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်များ စဉ်ဆက်မပြတ် တိုးတက်ကောင်းမွန်လာခြင်းဖြင့် TiN ပြတင်းပေါက်ဖလင်အား စွမ်းအင်ချွေတာရေး၊ မော်တော်ကားပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်နှင့် အခြားနယ်ပယ်များတွင် ပိုမိုတွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုလာမည်ဖြစ်သည်။ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် နည်းပညာဆိုင်ရာ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် ပြုလုပ်ခြင်းဖြင့် XTTF ၏ အမှတ်တံဆိပ်အမည်အောက်တွင် TiN ပြတင်းပေါက်ရုပ်ရှင်သည် စွမ်းအင်ချွေတာမှုအတွက် လိုအပ်ချက်ကို ဖြည့်ဆည်းပေးမည်ဖြစ်ပြီး တစ်ချိန်တည်းတွင် သုံးစွဲသူများအတွက် ပိုမိုထိရောက်ပြီး ချွေတာနိုင်သော ဖြေရှင်းနည်းများကို ယူဆောင်လာကာ ၎င်းသည် ကြီးထွားလာနေသော အကွာအဝေးအတွက် တန်ဖိုးရှိသော ထပ်လောင်းတစ်ခုဖြစ်လာမည်ဖြစ်သည်။ပြတင်းပေါက်ဖလင် အထောက်အပံ့များ.
စာတိုက်အချိန်- မတ် ၂၄-၂၀၂၅
